RAID 3属于并行访问磁盘阵列，其结构如图2所示。在RAID 3中，使用了专门的磁盘存放所有的校验值，并把数据分散到剩余的磁盘上，因而RAID 3需要至少3块盘阵来运行。RAID 3是使用专门校验盘的并行访问，其性能优势依赖于缓存技术和更高的磁盘转速。整个RAID 3系统只需要一个校验盘，就可以使硬盘的利用率提高。
RAID 3可以承受在由n个硬盘驱动器组成的磁盘阵列中的一个硬盘发生故障，例如：如果奇偶校验硬盘发生故障，其余用作存储数据用的硬盘不会被影响，但是冗余信息将丢失，如果其中一个数据硬盘发生故障，RAID控制器使用剩余的数据硬盘，并且奇偶校验硬盘重新计算丢失的数据，系统性能将有稍微的降低直到发生故障的硬盘驱动器被恢复，但是不会有数据丢失。如果在发生故障的硬盘恢复以前另一个硬盘发生故障，那么RAID组件内的所有的数据将会丢失。